大尺寸样品三维轮廓仪S neox Grand Format为半导体等行业大尺寸产品的表面三维测量提供了从硬件到软件的完整解决方案。

S neox Five Axis 3D光学轮廓仪结合了高精度旋转模块和S neox 3D光学轮廓仪的优良检测和分析功能在指定的位置上实现全自动地3D表面测量，并结合在一起，完成全表面的3D立体测量。S neox 3D测量技术涵盖了广泛的尺度，包括轮廓变化（多焦面叠加技术)、亚纳米粗糙度（干涉测量技术）或需要更高横向分辨率以及垂直分辨率（共聚焦技术）的临界尺寸。

全新的3D光学轮廓仪S neox将共聚焦、干涉和多焦面叠加技术融于一身，测量头内无运动部件。全自动光学轮廓仪S neox能够测量不同的材质，结构，表面粗糙度和波度，几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的形貌测量应用。Sensofar的核心是将3种测量方式融于体，配合SensoSCAN软件系统，用户将获得难以置信的直观操作体验。

S lynx 2 是一款结构紧凑、用途广泛的3D光学轮廓仪，用于粗糙度、体积和临界尺寸测量。用于工业和科研应用，其设计定位简洁、用途多样。光学轮廓仪S lynx 2能够测量不同的材质，结构，表面粗糙度和波度，几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的形貌,测量应用。Sensofar的核心是将3种测量方式融于体，确保了其综合性能。