光学轮廓仪

特点

惊人的测量速度

通过采用新的智能算法以及新型相机，达到惊人的测量速度。数据采集速度达180 fps。标准测量采集速度比以前快5倍。S neox成为市场上速度极快的表面测量系统。

易于使用

Sensofar致力于为客户提供最令人难以置信的体验。随着第五代S neox系统的诞生，我们的目标是使其易于使用、直观且更快速。即使是初学者，只需点击一下，即可操作测量。模块化设计的软件，使系统适应用户多样的需求。

功能灵活多样

质量管理

丰富的自动化模块，方便进行质量管控。从操作员访问权限控制、测量程序存储、兼容性到条形码/QR读取器，以及我们专用SensoPRO软件中的定制插件，都可以自动生成分析报告。我们的优化解决方案能够在QC环境中工作，其具有灵活性和易于使用的界面，可编程并24小时工作。

研发

Ssnsofar的三合一方法只需点击一次，系统即可切换到适合当前测量任务的扫描方式。在S neox传感器头中配置三种测量技术：共聚焦、干涉、Ai多焦面叠加，这些都为系统的多功能性做出了重要贡献，并有助于非常有效地减少数据采集中的噪点。S neox是所有实验室环境的理想之选，适用范围广泛。

四合一技术

1）共聚焦模式

共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌，它比光学显微镜有更高的横向分辨率，可达0.10um.利用它可以实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70°（粗糙表面达86°）。

共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

2）相位差/白光干涉模式

相位差干涉是一种亚纳米级精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证亚纳米级的纵向分辨率。使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。

白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米级的纵向分辨率。

3)多焦面叠加模式

多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据我们在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的最大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大(最大86°)。此功能对工件和模具测量特别有用。

4)薄膜

薄膜测量技术快速、准确、无损地测量光学透明层的厚度，且不需要样品制备。该系统获取可见光范围内样品的反射光谱，并与软件计算的模拟光谱进行比较，准确地找到匹配的厚度。可以在不到一秒钟的时间内测量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。测量光斑取决于物镜放大率，范围从0.5μm到40μm。

LED光源的优势

用LED做照明光源要比用激光更有优势，首先LED光源可以避免发生激光光源的散斑现象。其次LED光源的使用寿命约50000小时（约25倍于激光）。最重要的是多个LED就意味着可以根据样品的需求选择适合的波长来测量。选用：630nm红光、530nm绿光、460nm蓝光、 575nm白光。

可追溯的精确测量

每一台SNEOX都是为了实现精确且可追溯地测量。我们的设备使用符合ISO25178中的Part 700和Part 600标准的可追溯标准块进行校正。所有的指标，包括高度及水平精度、平面度偏差、系统分辨率等都以测量此类标准块而得到。我们坚持所有的测量设备按照此标准执行。

S neox出厂前都采用已计量、可追溯的标准块做校正，并且确认符合标准才会出厂。同时SENSOFAR会随设备附上测量精度和重复性的检测报告。

高分辨率

垂直分辨率受到仪器噪声的限制，仪器噪声对于干涉测量是固定的，但共聚焦测量依赖的数值孔径。Sensofar专有算法以光学仪器更佳的横向分辨率为测量技术提供纳米级系统噪声。所示的形貌是亚纳米 (0.3nm) 原子层，由PTB提供。

DIC观察

微分干涉 (DIC) 用于强调在正常观察中没有对比度的非常小的高度特征。通过使用 Nomarski棱镜，产生了干涉图像，解决了在明视场或共聚焦图像中不可见的亚纳米级结构。

设计

多样的配置方案-平台尺寸（从4寸到12寸）

超大尺寸支架

软件-引导式系统

SensoSCAN软件通过清晰、直观且用户友好的界面驱动系统。用户将被引导浏览3D环境，获得良好的用户体验。

自动化程序模块

自动测量模块让客户更容易地实现自定义编程，完成质量管理和检测的目标。手动设定测量点坐标或导入坐标文件，为每个坐标或批量设定量测程序，再设定自动影像识别对位点，最后定义公差范围及报告输出格式就完成了所有的编程工作。

多点编程测量

SNEOX设计了一个全新的编程方式。即通过自动识别相同的结构或产品类型，程序会在相同的位置复制测量点位和程序。这将极大地提高编程的效率，节省了人员编程的时间。

自动识别对位点

通过影像自动识别对位点并自动进行位置补正，从而实现了无人干预的全自动化测量。使原来手动抽检的台式机变身为只要手动放完片就可以自动测量完并给出报告的半自动检测设备。自动对位点识别的功能也是离线抽检设备走向工业4.0的能力。

扩展测量模块-最高可达500Mpx

SensoSCAN 的扩展测量模块让用户可以通过概览图像轻松地在表面上定义测量布局。测量区域可被自动裁剪为需要的矩形、圆形或环形区域。适用于高达 5 亿像素的大面积测量。提供多种扫描策略，例如对每个视场进行自动聚焦，或聚焦跟踪，以便最小化垂直扫描范围。

SensoVIEW强大的分析软件

3D和2D交互式视图提供多种比例、显示和渲染选项。提供工具套装，适用于对3D或2D测量进行初步检查和分析。测量临界尺寸、角度、距离、直径，以及使用新的注释工具突出显示特点。

易于使用、简洁却强大、专为您设计

Sensofar系统配备的这一款动态软件提供一整套用户友好的工具，用于显示并分析测量值。用户将得到培训和指导，熟悉3D环境，获得良好的用户体验：只需单击一次就可调用运算符、设计风格引人注目的图标、更容易理解的功能、同步的 3D、2D和剖面视图，这些都只是SensoVIEW软件主要特征的一部分。

1）选择您自己的视图：3D和2D交互式视图提供多种比例、显示和渲染选项。

2）处理您的数据：处理数据信息或生成备选层的全套运算符。

3）与分析工具交互：对3D或2D测量值进行初步检查和分析需要的多种分析工具。

4）您的分析应用：创建分析模板将一系列测量结果，使用相同的预设流程进行分析。

5）获取您的结果：获取可定制报告，或者以多种格式导出3D测量数据。

ISO参数-关键参数的智能计算工具

SensoVIEW分析软件提供了一个具体的步骤指南，根据ISO 21920和25178获得粗糙度参数的表面纹理参数，根据ISO 12781获得平整度参数的表面纹理参数。这是满足粗糙度和波纹度ISO标准的方法，简化了分析过程。

ISO 21920计算

它根据ISO 21920自动滤除主波形，并会得到粗糙度(Rx)和波纹度(Wx)参数。参数的计算包括一组预定义的运算符、滤波器（F-运算符、S-滤波器和L-滤波器）以及其他设置 。

ISO 25178计算

专为不太了解ISO滤波器的用户设计，现在，他们只需选择要分析的表面类型，就可提取出这些信息。该运算符根据ISO25178标准过滤表面，并得到表面纹理参数。

ISO 1278计算

SensoVIEW可以根据ISO 12781轻松提取四个平整度参数：峰谷比（FLTt）、峰参考比（FLTp）、参考谷比（FLPv）和均方根（FLTq）。

ISO标准-表面纹理表征

ISO 25178：几何产品规范 (GPS)–表面纹理：面层标准是国际标准化组织面向3D面层表面纹理的分析，收集整理的相关国际标准。这是涉及3D表面纹理规范和测量的国际标准，特别是定义了3D表面纹理参数及相关规范运算符。

按照 ISO 25178 计算表面参数：

高度参数（Z 轴方向的高度值）
空间参数（数据的空间周期性）
混合参数：（数据的空间形状）
功能参数（从材料比值曲线、表面形貌、谷底与坡面计算出的参数）
功能体积参数（根据材料比率曲线计算体积）

测量显示-更锐利的可视化形貌

图像控制选项一直在不断发展，更好的满足所有样本类型及客户需求，多种图像处理设置包含在每个渲染可视化选项中，同时提供缩放选项，调节更方便。

自动管理的渲染视图

五种智能可视化模式（错误颜色、堆叠、堆叠 & 错误颜色、正确颜色或方向亮度）始终可

以在主屏幕上随心选择。

自动流设置

用户能自由控制不同参数，比如缩放范围、Z 轴、堆叠、颜色和阴影设置。

波形工具

对于显示图像和3D测量值，有几个波形选项可供选用：水平、垂直、圆形、顶部/底部、

自由或平均波形。可用各种关键尺寸工具分析波形数据。

结果-可自定义的报告

由于可从不同报告模板中选择，用户可配置每个部分，尽可能满足他们的要求。对于每次测量，获得清楚、结构合理的报告的灵活方式，除了其他内容，还可显示采集信息、3D数据、2D 轮廓和所有ISO参数。

1）创建自己的页眉和页脚

2）将内容设置为您所需

3）选择样式以显示您的结果

4）Excel & PDF格式，可随意编辑

可导出多种格式的 3D图像

有几个选项可用于管理输出文件。在SensoVIEW分析软件中保存测量时，原始数据始终被保留。测量表面数据可以导出为*.dat、*.stl、*.pcl和*.x3p格式。

具有统计计算的可导出结果

应用模板后，用户可以导出包含了所有关键尺寸，并按尺寸类型或编号分类好的统计信息的Excel文件。

SensoPRO快速质量控制

在生产线上执行快速质量控制从未显得如此简单。得益于SensoPRO，生产线操作员只需要加载样品并按照引导式说明操作即可。基于插件的数据分析算法提供了高度的灵活性。全新模块可供轻松定制，以适应其他行业的需求。

市场-为每种应用量身打造的解决方案

对于那些在我们的其他可用套餐中找不到他们需要的功能的客户，我们的开发团队可提供定制解决方案。我们凭借工程师的专业知识，寻求适合所需应用的解决方案。

消费类电子产品

消费类电子产品市场包括半导体、印刷电路板 (PCB) 和显示器行业等。鉴于其速度和自动化能力，SensoPRO已成为了许多应用领域的真正省钱利器。

医疗设备

医疗市场有着极其严格的质量控制和质量保证标准。Sensofar的3D光学轮廓仪可对制造过程进行快速、无损且准确的控制，并可对表面纹理进行质量控制。

工装

刀具的设计和制造直接影响最终用户行业的生产质量。SensoPRO在分析螺纹牙底、牙面和牙顶的尺寸测量值或计算刀片和其他切削工具的刀刃半径时非常快速。

自动化-工作原理

这套64位数据分析解决方案为QA工程师和技术员快速、简便地分析生产参数提供了环境。SensoPRO可链接至采集软件 (SensoSCAN)，从而测得的数据可自动传输到SensoPRO进行分析。一旦配置完毕，单击一次就可采集和分析测量数据。

性能-QC 经理的管理工具

光学轮廓仪的变革性创新，极大地改善了其可用性，简化了创建参数记录文档时以及通过比较两组数据确定哪些是控制生产线的关键参数时设置公差的任务。专为需要可追溯生产控制的非专业用户设计。

性能-极其快速

由于现在可以利用多个内核，大量的操作可同时执行，从而提高了系统总体性能。轻松处理更大的文件和/或更大的多个数据集。

性能-有命令行可用

此工具使SensoPRO的批量分析工作可以独立运行，实现了用Sensofar系统批量采集的同时集中分析。将此解决方案与SensoSCAN SDK相结合，我们可以一边进行测量，一边进行分析（在单独的计算机上），加快QC过程。命令行是从其他软件调用SensoPRO分析软件的一种简便方式。

结果-参数统计分析模块

一旦分析完成，每个参数的结果和标准偏差就显示在表上。如果应用了任何公差，这些公差将在汇总部分突出显示。

高级分析软件

SensoMAP是一款功能强大的分析和报告工具，它是基于Digital Surf的Mountains技术而开发。SensoMAP软件已模块化，以适应客户需求。SensoMAP提供两个级别（标准和进阶）和多个模块（2D、3D或4D模块、进阶轮廓、颗粒和粒子、统计和拼接）。

易于使用-极其强大的报告创建功能

专为各种各样的研究和工业应用而设计，SensoMAP软件是表面成像、分析和测量解决方案，可集成在Sensofar 3D光学轮廓仪中。包括：

1）成像-用前沿的成像技术和智能滤波器可视化表面数据。

2）测量学-按照每一项最新标准和方法进行分析研究。

3）报告创建-在智能桌面发布环境中创建详细、精确的多页表面分析报告，强大的自动化功能加快分析过程。

可选模块

▄ 包含的模块                        — 可选模块

规格

设备尺寸（mm/英寸）

 基座和立柱

控制器

技术

光源

物镜性能-明场

物镜性能-干涉

共聚焦/Ai多焦面叠加

1.最大视场系3/2”摄像头及光学0.5X。  

2.表面的像素大小。

3.L&S:线条和空间, 蓝光波长。

4.根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。  

5.在光滑表面上，最多71º，在散射表面上高达86º。

XY轴性能

Z轴性能

系统配置

计算机和操作系统