大尺寸样品光学轮廓仪

特点

无惧重量限制-无限的测量能力

600 x 600mm的宽广移动范围，每秒1米的惊人速度。闭环XY龙门架设计，无惧重量限制，性能始终如一。

安心使用

经认证可用于半导体表征，该系统经过精心设计，符合SEMI S2和S8等多项行业标准，并通过了德国莱茵TÜV认证。

三合一技术

超高的测量通用性，无尘测量头S neox Cleanroom提供三种不同的光学技术，可针对每个特定样品使用适合的技术进行成像，实现亚纳米级精度。

严格符合ISO 1级别

适用于无尘间，测量传感器符合 ISO 1 级标准。机身由不锈钢制成，可减少微粒排放。

软件

内置采集软件：一体化软件解决方案

该测量系统由易于使用的SensoSCAN控制，它为测量自动化提供了更多且更强大的功能。

SensoPRO-快速质量控制

基于插件的解决方案，SensoPRO拥有大量插件，可满足常见的自动化分析需求和定制应用。

为消费电子产品量身定制的解决方案

SensoPRO软件可在质量控制中实现分析自动化，高效处理大量数据。我们提供了一系列定制插件，以满足消费电子行业的特殊要求。

SensoVIEW-功能强大的分析软件

拓宽分析视野,SensoVIEW是适用于各种任务的理想分析软件。它拥有一套完整的工具包，可从二维和三维数据集中提取数据。

表面分析

SensoVIEW为专门的操作人员提供了用户友好型的分步式界面，可按照相应的ISO标准提取平面度和表面纹理参数、进行体积计算等。

尺寸测量

有多种工具可用于轮廓和剖面图的关键尺寸分析。每种工具都配备了自动调整功能，并能纳入公差，确保能进行全面的尺寸分析。

规格

技术

照明光源

尺寸（mm/"）

物镜-明场

物镜-干涉

PSI/ePSI/CSI

龙门式XY平台

标准认证