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三维光学扫描仪的标定方法与精度验证
发布时间:2026-05-28

三维光学扫描仪作为一种非接触式测量设备,其测量精度直接依赖于标定方法的科学性与准确性。标定的本质在于建立扫描仪内部参数、结构参数以及坐标系转换关系的数学模型,从而将二维图像信息准确还原为三维空间坐标。标定方法主要包括内参标定和外参标定两个层面。内参标定针对扫描仪本身的成像系统,涉...

  • 发布时间:2026-03-13

    在工业检测与科研探索领域,一款兼具紧凑设计与多元功能的测量设备,往往能打破场景限制,提升测量效率与精度。Slynx23D光学轮廓仪便是这样一款产品,以简洁定位为核心,以广泛用途为导向,成为工业生产与科研实验中不可少的测量利器。作为一款结构紧凑、用途广泛的3D光学轮廓仪,Slynx2核心用于粗糙度、体积和临界尺寸的精准测量,适配工业制造与科学研究两大核心场景。其设计定位简洁务实,摒弃冗余结构,兼顾便携性与实用性,可灵活部署于实验室、生产车间等不同空间,无需复杂安装,便能快速投入...

  • 发布时间:2026-03-11

    在材料力学性能测试、结构变形分析等领域,非接触、高精度、高适应性的光学测量技术,正成为替代传统检测方式的关键选择。三维全场应变测量系统FlexDIC(3相机),依托多视角立体视觉技术,以三相机专属架构、快速标定与模块化设计,为复杂场景下的三维形貌、位移与应变测量提供稳定、高效的解决方案。作为基于数字图像相关法(DIC)的高精度光学测量设备,FlexDIC核心面向材料测试与运动分析需求,专注实现物体表面三维形貌、位移及应变的非接触式测量。与常规双相机DIC系统相比,其三相机配置...

  • 发布时间:2026-01-30

    白光干涉仪凭借非接触、纳米级精度的优势,成为精密制造、半导体等领域表面形貌测量的核心设备。对焦与拼接作为测量流程的核心环节,直接决定数据准确性与测量范围,其操作技巧的熟练掌握是提升测量效率与质量的关键。精准对焦是保证测量精度的前提,核心在于锁定零级干涉条纹的最佳成像位置。实操中需遵循“粗调-细调-精准校准”三步法:首先通过设备控制器快速调节镜头与样品距离,结合20倍物镜4.7毫米最佳工作距离等参数,初步定位成像范围;随后利用微分头手动微调,同步调整载物台俯仰旋钮,观察干涉条纹...

  • 发布时间:2025-12-25

    材料的宏观性能由微观结构决定,材料微观表征测量系统作为解析微观结构的核心工具,贯穿从成像捕捉到数据分析的全流程,为材料研发、性能优化和质量管控提供关键支撑。该系统并非单一设备的简单叠加,而是由样品制备、成像探测、信号传输、数据处理与分析等多个功能模块协同构成的有机整体,各模块环环相扣,共同实现对材料微观世界的精准探秘。样品制备模块是微观表征的“前置基础”,直接决定后续检测的准确性与可靠性。针对不同材料类型(金属、陶瓷、高分子等)和表征需求,需通过切割、研磨、抛光、镀膜等系列处...

  • 发布时间:2025-11-27

    白光干涉仪凭借其非接触、高分辨率、全场测量的优势,成为半导体晶圆检测中重要的“精密眼睛”。在半导体制造领域,晶圆的表面形貌与厚度均匀性直接决定芯片的性能与良率。随着制程向3nm及以下节点迈进,对检测精度的要求已从微米级跃升至纳米级,传统光学或接触式测量技术逐渐力不从心。此时,白光干涉仪的核心原理是利用宽谱光源(如卤素灯)的短相干特性,通过物镜将光线分为参考光与样品反射光,当两者光程差小于光源相干长度时产生干涉条纹。通过分析条纹的相位与对比度,可精确重构样品表面的三维形貌,垂直...

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